Python编写的数字光刻仿真程序，使用了Hopkins光刻模型和粒子群优化（PSO）算法来优化掩模设计
Python编写的数字光刻仿真程序，使用了Hopkins光刻模型和粒子群优化（PSO）算法来优化掩模设计，以减少光刻过程中的图形偏差。
4. 定义了几个函数来模拟光波通过光刻系统的变化：
- `transfer_function`：计算光波的相位变化。
- `light_source_function`：描述光源在各个传播方向的光波的光强分布。
- `impulse_response_function`：反映透镜作为空间频率低通滤波器的特性。
- `compute_tcc`：计算交叉传输系数（TCC），描述整个光学成像系统的作用。
5. `hopkins_digital_lithography_simulation`函数是仿真的核心，它将掩膜图像转换到频域，应用TCC和传递函数，然后将结果转换回空间域，得到最终的仿真图像。
6. 设置光刻仿真的参数，如波长、距离、每个微镜的尺寸、图像尺寸、折射率、部分相干因子和数值孔径。
7. `binarize_image`函数用于将仿真图像进行二值化处理。
8. 使用粒子群优化（PSO）算法来优化掩模设计，以减少图形偏差。这里使用了自定义的`VPPSO
原文地址：https://blog.csdn.net/a394467238/article/details/142825873
免责声明：本站文章内容转载自网络资源，如本站内容侵犯了原著者的合法权益，可联系本站删除。更多内容请关注自学内容网（zxcms.com）！